全自动扫描电镜是一种显微分析设备，它通过电子束扫描样品表面，产生高分辨率的图像。这种设备广泛应用于材料科学、生物学、地质学等领域，为科研人员提供了一种非破坏性的分析手段。
1.工作原理：利用电子束在样品表面进行扫描，通过检测二次电子和背散射电子的信号，生成高分辨率的图像。电子束由电子枪产生，经过电磁透镜聚焦，然后在样品表面进行扫描。扫描过程中，电子与样品相互作用，产生二次电子和背散射电子，这些信号被探测器接收并转换成图像。
2.主要组成部分：全自动扫描电镜主要由电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室、探测器、信号处理系统和计算机控制系统等部分组成。电子枪产生电子束，电磁透镜对电子束进行聚焦和偏转，扫描线圈控制电子束在样品表面的扫描路径，样品室用于放置和调整样品，探测器接收二次电子和背散射电子信号，信号处理系统将信号转换成图像，计算机控制系统实现设备的自动化操作。
3.分辨率：分辨率是指能够分辨出两个相邻点的距离。分辨率受到电子束直径、探测器性能和样品本身性质等因素的影响。一般来说，分辨率可以达到纳米级别，甚至更高。
4.放大倍数：全自动扫描电镜的放大倍数是指图像中样品的实际尺寸与显示器上显示的尺寸之比。放大倍数可以通过调整电磁透镜的聚焦电流来实现。放大倍数范围很广，从几十倍到几十万倍不等，可以满足不同尺度的分析需求。
5.样品制备：对样品的要求较高，需要样品具有良好的导电性和较高的稳定性。对于非导电样品，需要进行喷金或碳膜镀层处理，以提高其导电性。此外，样品的尺寸和厚度也需要适中，以便于观察和分析。
6.应用领域：全自动扫描电镜广泛应用于材料科学、生物学、地质学等领域。在材料科学领域，可以用于分析材料的微观结构、形貌和成分；在生物学领域，可以用于研究细胞和组织的形态和功能；在地质学领域，可以用于分析矿物的成分和结构。此外，还可以用于半导体、纳米技术、环境科学等领域的研究。
