台式扫描电子显微镜的概念是由美国FEI公司(1997年原FEI和飞利浦电子光学合并而成)提出的,并于2006年正式发布了旗下的Phenom飞纳台式扫描电镜,而后于2009年成立Phenom-World(飞纳世界)公司,专业研发并生产台式扫描电镜。
放大倍数:20000x;分辨率:优于30nm;灯丝:1500小时CeB6灯丝;
抽真空时间:10秒;样品移动方式:自动马达样品台;
样品定位方式:光学和低倍电子双重导航;
样品导电性要求:无需喷金,直接观测绝缘体;
台式扫描电子显微镜拓展功能:3D粗糙度重建、纤维统计测量,高倍拼图,颗粒测量系统,面扫,点扫,线扫,区域扫等;温控样品台,可直接观测液体。
PhenomProX的背散射图像,首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素,进一步利用PhenomProX的SDDX射线探测器,就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量,提供5-95号元素的点扫描,线扫描和面扫描三种分析模式。
PhenomProX的台式扫描电子显微镜系统和X射线能谱仪系统使用的软件均由Phenom-World公司编写,用户通过一个界面就可以操控两项功能,图形化的设计,使操作变得的简单,点击感兴趣的区域,在数秒内既可以得到微观形貌信息,同时得到该区域的表面元素分布信息。