能谱一体机同时具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析。电镜能谱一体机具有飞纳系列全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点，无需防震环境，可放置在任意楼层，能谱无外接部件，无需液氮冷却。
飞纳桌面扫描电镜能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生X射线的分析仪器。Phenom的能谱仪无论软件、硬件都是*集成设计在飞纳电镜能谱一体机PhenomProX系统中。扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。
金相样品背散射成像分析，背散射探头成像可以显示出材料的成分衬度，但背散射探头属于被动信号采集，所以背散射成像对灯丝亮度有着*的要求。只有在灯丝亮度足够高的情况下才能获取良好的背散射成像照片。桌面式电镜操作简单，维护方便。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。
