全自动扫描电镜(Automated Scanning Electron Microscope，ASEM)是利用电子束与样品相互作用产生的信号来形成图像。电子源会发射出高能电子，并通过电磁透镜、磁聚束和扫描线圈将电子束聚焦并把它迅速地扫描在样品表面。样品与电子束相互作用时，会产生多种信号，如二次电子、背散射电子和X射线等。这些信号被探测器捕捉，然后转化为电信号并被发送到计算机进行处理。
 

　　全自动扫描电镜的工作流程如下：
 

　　1.准备样品：将要观察的样品固定在支架上，并进行必要的处理，如镀金、切片、切割等。样品表面应尽量保持平整和洁净。
 

　　2.调节电子束：通过调节电子源、透镜和扫描线圈等参数，使电子束能够达到所需的性能，如分辨率、深度、放大倍数等。
 

　　3.开始扫描：启动，开始对样品进行扫描。扫描模式有两种常用方式：连续扫描和点扫描。连续扫描方式下，电子束会在样品表面不停的扫描，从而形成全景图像；而点扫描方式下，电子束会逐点扫描，并记录下每个点的信号，生成高分辨率的图像。
 

　　4.信号检测：使用相应的探测器来检测样品产生的信号。二次电子信号是常用的信号类型，它反映了样品表面的形貌特征；背散射电子信号则提供了更多的化学信息；X射线探测器则可以用于元素分析等应用。
 

　　5.图像处理和分析：采集到的信号通过电子学系统将其转化为电信号并传输到计算机上。计算机会对信号进行处理和解析，然后形成对应的图像。利用图像处理软件，可以对图像进行增强、放大、测量和分析，以获得所需的信息。
 

　　全自动扫描电镜的应用非常广泛。它可以用于材料科学研究，例如表面形貌分析、粒子形态观察和晶体结构分析等。在生物科学领域，可以用于细胞和组织的形态学观察，帮助研究人员了解生物样品的微观结构和组织成分。此外，还可以应用于纳米技术研究、电子元件分析和环境监测等领域。