扫描电镜的图象显示在阴极射线管(显像管)上,并由照相机拍照记录,显像管有两个,一个用来观察,分辨率较低;另一个用来照相记录,分辨率较高。
显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描,并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步,这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像,这种图象反映了样品表面的形貌特征。生物样品制备技术大多数生物样品都含有水分,而且比较柔软,因此,在进行电镜观察前,要对样品作相应的处理,主要要求是使样品的表面结构保存好,没有变形和污染,样品干燥并且有良好导电性能。
电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成,其作用是使镜筒内达到真空度,电源系统供给各部件所需的特定的电源。
和光学显微镜及透射电镜相比,扫描电镜具有以下特点:
(一)能够直接观察样品表面的结构,样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二) 样品制备过程简单,不用切成薄片。
(三) 样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转,因此,可以从各种角度对样品进行观察。
(四) 景深大,图象富有立体感。景深较光学显微镜大几百倍,比透射电镜大几十倍。
(五) 图象的放大范围广,分辨率也比较高。可放大十几倍到几十万倍,它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间,可达3nm。
(六) 电子束对样品的损伤与污染程度较小。
(七) 在观察形貌的同时,还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。