高分辨率台式扫描电镜通过电信号放大器加以放大处理，成像在显示系统上，扫描电镜工作原理的特殊之处在于把来自二次电子的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。

   高分辨率台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，亮度10倍于钨灯丝的CeB6灯丝，不仅使成为*分辨率高的台式扫描电镜，同时也使 X射线能谱仪提供更加准确、快速的元素分析。高分辨率台式扫描电镜的背散射图像，首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素，进一步利用X射线探测器，就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量，提供5-95号元素的点扫描，线扫描和面扫描三种分析模式。

   高分辨率台式扫描电镜系统和X射线能谱仪系统使用的软件，用户通过一个界面就可以操控两项功能，图形化的设计，使操作变得的简单，点击感兴趣的区域，在数秒内既可以得到微观形貌信息，同时得到该区域的表面元素分布信息。

   高分辨率台式扫描电镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射，是介于透射电镜和光学 显微镜之间的一种微观形貌观，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。

   高分辨率台式扫描电镜的优点是，①有较高的放大倍数，2-20万倍之间连续可调；②有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；③试样制备简单。目前的高分辨率台式扫描电镜配有X射线能谱仪装置，这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。