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SEMICON China 2019 | 飞纳电镜在半导体领域的应用

 更新时间:2019-03-20 点击量:2150

SEMICON China 是中国的半导体旗舰展览,每年吸引高数量和高质量的观众到场参观,为大家提供了解产品、技术和解决方案的专业平台。

 

2019 年,飞纳电镜将携台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX,在 SEMICON China 2019 为大家带来扫描电镜在半导体领域的应用。

 

时间:2019 年 3 月 20 日 - 22 日
地点:上海新博览中心
飞纳电镜展位号:N5 馆 5619

 

飞纳台式扫描电镜在半导体行业的应用

 

 

光镜 + 电镜导航界面 —— 快速寻找 Bonding 位置

 

 

飞纳电镜彩色光学导航窗口 + 低倍 SEM 导航窗口 + 自动马达台,帮助用户一键找到感兴趣位置,丢失视野。

 

优中心样品杯 —— 多角度检测 Bonding 质量

 

 

飞纳电镜优中心 (Eucentric) 样品杯

飞纳台式扫描电镜大样品室版 Phenom XL 的优中心样品杯可以通过倾斜、旋转样品,使用户得到更丰富的形貌特征,轻松、安全地从各个角度观察样品:

· 自动保护系统,用户无需担忧碰撞探头
· 腔室 3D 动态显示,实时模拟显示样品与探头的位置关系
· 优中心样品转动,丢失视野

 

飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX

 

在半导体领域中,扫描电镜可以用来分析材料成型机理,器件失效分析,工业工艺控制等问题,对研究和生产有着至关重要的作用。

飞纳电镜的高性能、高稳定性、操作简单等特性,在半导体领域得到了广泛的应用。

 

第五代飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX 是集成化成像分析系统,分辨率提升 20%,进一步增加应用范围,更加适用于对电子束敏感的样品。

 

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