在之前的博客中，描述了扫描电镜（SEM）自动化分析是如何节省研究人员和操作员的宝贵时间。扫描电镜的操作者使用电镜的目的各不相同。这篇博客详细描述了扫描电镜（SEM）在自动化的激光损伤阈值测试（LIDT）中的应用。

扫描电镜（SEM）：自动化的激光损伤阈值测试

较强的激光会破坏光学器件，如镜面，光学涂层或纤维。为了选择合适的光学器件， 发现多大能量的激光会损害一个组件，或者*地改变其光学特性是十分重要的。

图一：光学涂层被激光损伤后的扫描电镜背散射（BSD）图片

为了确定准确的激光能量影响大小，需要进行激光损伤阈值测试。栅格图样中的光学器件暴露在具有不同强度和波长的激光中。在接触激光后，使用不同类型的光学显微镜和扫描电镜检查这些光学器件的损伤程度。网格包含数百个不同的点，每个点都必须检测。人工手动测试将需要消耗大量的时间。