扫描电镜是一种将物质表面形貌放大成图像的高分辨率成像技术，它采用电子束扫描样品表面，诱发样品表面与电子束相互作用后所产生的多种信号，利用这些信号进而形成图像。扫描电镜可观察材料表面形貌、成分分析和结构表征、宏观形貌等方面，具有高分辨率、分析功能以及适用范围广等优势。因此，扫描电镜已经成为表面形貌研究和材料科学等领域的重要工具。
扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
扫描电镜有一个电子发射枪，从枪中会发射出加速、聚焦过的电子，在用这些电子来撞击样品。样品在受到撞击后会产生如同水波一般的信号，另一个接收器会用来接收这些信号。这些信号有许多不同的种类，不同的信号有不同的用途，可以对样品多个方面的表现进行检测。因此，扫描电镜除了可以成像外，还可以用来分析样品的成分形貌，对样品的元素进行分析。
扫描电镜(扫描电子显微镜)的基本原理是利用高能聚焦的电子束扫描样品表面，通过电子束与物质间的相互作用激发出各种物理信息，如二次电子、背散射电子等。这些物理信号的强度随样品表面特征而变化，并被相应的收集器接受，经过放大器放大后，送到显像管的栅极上，用来同步地调制显像管的电子束强度，即在荧光屏上形成与样品表面特征相对应的画面。
