台式扫描电子显微镜是电子显微镜的一种，该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。

   该仪器利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等，获得忠实原貌的立体感强的样品表面超微形貌结构信息。台式扫描电子显微镜具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

   台式扫描电子显微镜因其分辨率高、景深大、图像更富立体感、放大倍数可调范围宽等优点而被广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测。随着我国经济的迅速发展，高校、科研单位、企业等大量引进了场发射扫描电子显微镜。但是在台式扫描电子显微镜的使用过程中，特别是在安装初期，使用者通常由于对电镜的运行状态缺乏系统认识，经常会遇到软件死机、样品台被卡、真空问题等多种故障。解决方式一般为请维修工程师上门维修，除花费时间和费用外，也造成了对电镜操作者的心里束缚。

   台式扫描电子显微镜是研究微观世界的重要工具之一，为人们在微纳米尺度上研究物质的结构提供了有力的手段，在材料科学等众多学科领域及质量过程控制中得到日益广泛的应用。台式扫描电子显微镜是扫描电子显微镜的一个重要分支。具有以下特点：放大倍数可调范围宽、图像分辨率高和景深大等，现已被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造等各个研究领域。