数字控制，专业级电子显微成像及分析能力，主机电器一体化设计，占地小，便于移动，中型样品仓，接配专业EDS、WDS、EBSD、CL等，探测器更协调工作，五轴马达驱动，计算机导航，涡轮分子泵真空系统，高真空成像时间小于3min，标配高真空模式SE成像。

    全自动扫描电子显微镜是一种大型的分析仪器，主要功能是用于固态物质的形貌显微分析和对常规成分的微区分析，广泛应用于化工、材料、医药、生物、矿产、司法等领域。由于全自动扫描电子显微镜价格昂贵及特殊的工作原理，它对样品制备有着较高的要求，样品的制备好坏，直接影响着样品分析是否成功，为此，本文着重介绍一下全自动扫描电子显微镜应用中有关样品制备的相关知识和技术。

   全自动扫描电子显微镜对样品的要求

   (1)样品必须是无毒、无放射性的物质，以保证工作人员的人身安全；

   (2)样品可以是块状、片状、纤维状，也可以是颗粒或粉末状，无论是什么样的样品都不能是有机挥发物和含有水分，如果将含有水分的样品放在镜筒内能产生三种严重不良后果：一是当真空达不到要求强行通高压时，其产生的水蒸汽遭遇高能电子流产生电离而放电引起束流大幅度波动，使所成的像模糊，或根本不能成像；二是造成镜筒污染；三是损坏灯丝，当高能电压通过灯丝时，温度高达2000Ο，碰到水蒸汽而氧化变质或熔断，因此，应先烘干样品中的水分；

   (3)无论是块状样品，还是粉末颗粒状样品，其化学、物理性质要稳定，在高真空中的电子束照射下，都要能保持成分稳定和形态不变；

   (4)表面受到污染的样品，要在不破坏样品表面结构的前提下，进行适当清洗、烘干；

   (5)无论是样品的表面，还是样品新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，以保持全自动扫描电子显微镜原始的结构状态；

   (6)对磁性样品要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场的影响.

   (7)粉末样品要适量，不易过多；块状样品大小要适合仪器样品底座的尺寸，不能过大。