高分辨率台式扫描电镜
光学显微镜:放大 20-135 倍; 电子显微镜:130,000 倍;
探测器:高灵敏度四分割背散射电子探测器;
灯丝材料:1,500 小时 CeB6 灯丝;
分辨率:优于 14 nm;
放置环境:采用专业防震设计,可摆放于普通实验室或办公室、厂房;
加速电压:5kV-15kV 连续可调;
抽真空时间:小于 15 秒。
技术特点:
自动高亮度电子枪,全数字化高压电源,0.5KV~30KV范围内随意调节;
聚光镜精细控制 Spot size设置10档调节;
圆锥形物镜,具有更高分辨性能;
四孔可变光阑,分别用于高分辨观察和不同的分析目的;
实时灰度直方图,自动亮度对比度;
X Y T, 3轴自动样品台。
高分辨率台式扫描电镜 打破了传统台式扫描电镜采用BSD探测器成像的局限性,利用创新的 双聚光镜成像技术,采用大型扫描电镜成像原理,使用二次电子探测器作为基础成像单元,从而可以获得更高的分辨率(<8nm),是真正意义上的高分辨率台式扫描电镜。